实验室装潢  

  气路管道布局  

  设备整体配置  

  超净车间装修  

省发改委总工程师笪艺武一行调研百思集团
每一个粽要时刻,都想与你分享
每一个粽要时刻,都想与你分享???每年五月五,满城粽飘香,为弘扬传统文化,体现百思集团对员工的温暖与关怀,端午节,百思集团准备了精美的端午礼盒,以表达对员工们辛勤工作的感谢和节日的美好祝愿。???一盒粽子一片情,点滴关怀暖人心。百思集团行政部,给每位员工派发端午粽子礼盒。礼物饱含了公司对员工满满的祝福与关怀。在礼品派发过程中,员工们的喜悦之情溢于言表,大家都深深体会到公司对员工生活的关爱,大家都觉
合肥市市委书记来百思集团调研
合肥投资促进局领导调研百思集团产品研发中心
  • 2

    2

  • 1

    1

安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

我要留言

欢迎点击留下您宝贵的意见

我们会在第一时间给您回复

在线客服
客服热线
400-0033-603
客服组:
在线客服
QQ:
QQ:
QQ:
QQ:
服务时间:
8:00 - 17:30

Copyright 2017  安徽贝意克设备技术有限公司   皖ICP备12002778号-1   技术支持:中企动力  合肥

浏览量:
产品名称

带预热炉PECVD

所属分类
零售价
0.00
数量
-
+
库存
没有此类产品
立即购买
加入购物车
实验预约
联系我们
产品描述
产品参数

我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控制温度及Plasma强度。PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:

1、电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。

2、通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单

 1.加热系统

最高温度

1200

使用温度

≤1100

炉膛有效尺寸

Φ100mm(适用于2-3英寸样品,炉管直径可根据实际需要定制。)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7”工控电脑,内置PLC控制程序。

加热长度

440mm

恒温长度

200mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V50Hz

 

2、PE系统

功率输出范围

0W~500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

 

3、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm

(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

 

4、低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

 

 

 

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
暂未实现,敬请期待
上一篇
下一篇

购物车浮动框

购物车中还没有商品,赶紧选购吧!
uu快3-官网 鄂尔多斯市 | 吉水县 | 耒阳市 | 乌兰浩特市 | 武功县 | 三亚市 | 三门峡市 | 威信县 | 叙永县 | 峨山 | 察雅县 | 泰宁县 | 鞍山市 | 海阳市 | 牙克石市 | 新蔡县 | 织金县 | 肃南 | 钦州市 | 无极县 | 阿拉善左旗 | 海晏县 | 泗洪县 | 古交市 | 山阳县 | 凤阳县 | 鄂托克旗 | 灵山县 | 卓尼县 | 巴东县 | 武山县 | 珠海市 |